#方法学

用 SEMulator3D 做虚拟工艺验证：一条完整的结构到电性链路

工艺仿真最常见的失败不是模型不对，而是把"几何结构走通"当成了验证完成。这篇记录一条可复现的链路：从刻蚀配方到结构、从结构到器件、再从器件回到工艺窗口。